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掃描電鏡高溫力學原位系統(tǒng)的組成

來源:廈門超新芯科技有限公司    2026年01月31日 17:03  
  掃描電鏡高溫力學原位系統(tǒng)是集成于掃描電鏡(SEM)腔體內(nèi)部的熱-力耦合動態(tài)表征裝置,可在真空環(huán)境下對樣品同步施加精確高溫場與力學載荷,同時利用 SEM 高分辨成像,實時觀測材料在高溫受力過程中的微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)與成分演變,是高溫合金、陶瓷、復合材料等先進材料服役行為研究的核心設(shè)備。
  掃描電鏡高溫力學原位系統(tǒng)的組成:
  掃描電鏡主體:
  具備高分辨電子探測器,可提供表面靈敏的高分辨率圖像,用于觀察樣品的微觀形貌。
  配備能譜、電子背散射衍射等分析附件,可在觀察樣品形貌的同時,進行元素分析和晶體學特征分析。
  高溫原位臺:
  是系統(tǒng)的核心部件,通常采用電阻加熱方式,可實現(xiàn)一定溫度范圍內(nèi)的精準控制。
  加熱區(qū)覆蓋整個觀測區(qū)域,升溫降溫速度快,熱場穩(wěn)定且均勻。
  力學加載裝置:
  可在高溫環(huán)境下對樣品施加拉伸、壓縮、三點彎曲等力學載荷,實現(xiàn)原位力學性能測試。
  具備高精度壓電陶瓷驅(qū)動,納米級別精度數(shù)字化準確定位。
  控制系統(tǒng):
  包括溫度控制器、力學控制器等,以及相應的軟件,可實現(xiàn)對溫度、力學加載等條件的精確控制和實時監(jiān)測。
  支持自定義程序升溫曲線,可定義多步升溫程序、恒溫時間等,同時可手動控制目標溫度及時間。

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